下载光罩容器中用于间隔的插件的技术资料

文档序号:44465234

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间隔件包含经配置以放置在光罩盒的盖或底板中的一者的凹陷内的底座,及经配置以接触所述盖及所述底板中的另一者的接触表面。所述间隔件经配置以将所述盖及所述底板彼此间隔开,使得所述盖及所述底板的密封表面通过间隙分开。所述凹陷可为所述底板的推爪口袋。...
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