【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及用于将光罩容器的零件彼此间隔开的插件。
技术介绍
1、光罩容器可包含硬接触表面。当运输光罩容器时，其通常以其完整的组装状态运输。在运输期间，接触表面可能会受到超过光罩盒的普通处置及操作的冲击及/或振动，从而导致可能会影响光罩盒的清洁度或其它性能的磨损、损坏及颗粒产生。
技术实现思路
1、本公开涉及用于将光罩容器的零件彼此间隔开的插件。
2、通过提供位于光罩容器的内部空间内的间隔件，例如光罩盒的内部盒，当所述光罩盒以组装状态运输时，可在接触表面之间维持间隙。此间隙的存在可减少或消除由所述光罩容器运输期间经历的冲击或振动引起的磨损或损坏。所述间隙可经定大小以使得所述光罩容器仍可完全组装，例如在此运输过程中将内部盒容纳在所述完整的光罩容器的外部盒内。此使得光罩容器在运输时损坏或产生颗粒的风险降低，即使在作为完整容器运输时也是如此。
3、在实施例中，一种物品包含用于光罩盒的间隔件。所述间隔件包含：所述间隔件的底座，其经配置以与形成在所述光罩盒的盖或底板中的一者中的...
【技术保护点】
1.一种物品，其包括：
2.根据权利要求1所述的物品，其中所述间隙的宽度在从20μm到1mm的范围内。
3.根据权利要求1所述的物品，其中所述间隔件包括热塑性塑料。
4.根据权利要求1所述的物品，其中所述凹陷是形成在所述第一内部盒段中的推爪口袋。
5.根据权利要求1所述的物品，其中所述间隔件进一步包括从所述主体延伸的处置特征。
6.一种光罩盒，其包括：
7.根据权利要求6所述的光罩盒，其中所述间隙的宽度在从20μm到1mm的范围内。
8.根据权利要求6所述的光罩盒，其进一步包括经配置以...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种物品，其包括：
2.根据权利要求1所述的物品，其中所述间隙的宽度在从20μm到1mm的范围内。
3.根据权利要求1所述的物品，其中所述间隔件包括热塑性塑料。
4.根据权利要求1所述的物品，其中所述凹陷是形成在所述第一内部盒段中的推爪口袋。
5.根据权利要求1所述的物品，其中所述间隔件进一步包括从所述主体延伸的处置特征。
6.一种光罩盒，其包括：
7.根据权利要求6所述的光罩盒，其中所述间隙的宽度在从20μm到1mm的范围内。
8.根据权利要求6所述的光罩盒，其进一步包括经配置以容纳所述内部盒及所述一或多个间隔件的外部盒。
9.根据权利要求6所述的光罩盒，其中所述凹陷是形成在所述底板中的推爪口袋，且所述接触表面经配置以接触所述盖。
10.根据权利要求6所述的光罩盒，其中所述间隔件进一步包括从所述主体延伸的处置特征。
11.根据权利要求6所述的光罩盒，其中所述一或多个间隔件包含多个所述间隔件。
12.根据权利要求11所述的光罩盒，其中所述多个所述间隔件中的至少两...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·V·拉施克，B·怀斯曼，P·J·玛古恩，王华平，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：
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