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本公开内容描述用于密封件的装置和系统，和用于使用所述密封件的方法。密封件包括基部部分，所述基部部分被配置为耦接到由第一部件的边缘表面形成的凹槽。所述密封件进一步包括从基部部分延伸的密封部分。所述密封部分被配置为响应于抵靠所述密封部分施加的阈...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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