【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开内容的实施方式总体涉及用于装载端口门的密封机构。
技术介绍
1、电子装置制造系统可以包括用于传输和制造基板的一或多个工具或部件。这样的工具或部件可以包括连接至装载锁定和/或传送腔室的工厂接口(例如，设备前端模块(efem))。在一些情况下，工厂接口的前面(front face)可以包括一或多个装载端口。装载端口是用于输入和输出基板载体的站。装载端口可以包括经适配以将装载端口连接到工厂接口的框架。框架可以包括传输开口，经由传输开口能够在基板载体和工厂接口之间传输一或多个基板。
2、当前的装载端口通常不包括在装载端口的框架和装载端口门之间的密封件。然而，这样的配置可能效率低下，因为当前的系统不维持在框架与门之间的环境受控气氛。
技术实现思路
1、本文所述的一些实施方式涵盖一种密封件，密封件包括基部部分，基部部分被配置为耦接到由第一部件的边缘表面形成的凹槽。密封件进一步包括密封部分，密封部分从基部部分延伸。密封部分被配置为响应于抵靠(against)密封部分施加的阈值密封力而在...
【技术保护点】
1.一种密封件，包含：
2.如权利要求1所述的密封件，其中所述第一部件的所述边缘表面相对于所述第二部件的所述密封表面大体上垂直，并且其中所述第一部件能够相对于所述第二部件移动。
3.如权利要求1所述的密封件，其中所述密封件的至少所述密封部分包含柔性弹性体材料。
4.如权利要求1所述的密封件，其中所述第一部件是工厂接口的装载端口门，并且所述第二部件是装载端口的框架，所述框架包含用于接收所述装载端口门的开口，其中所述装载端口门响应于抵靠所述密封部分施加的所述阈值密封力而移动至关闭位置，并且其中所述阈值密封力大体上平行于所述第一部件的所述...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种密封件，包含：
2.如权利要求1所述的密封件，其中所述第一部件的所述边缘表面相对于所述第二部件的所述密封表面大体上垂直，并且其中所述第一部件能够相对于所述第二部件移动。
3.如权利要求1所述的密封件，其中所述密封件的至少所述密封部分包含柔性弹性体材料。
4.如权利要求1所述的密封件，其中所述第一部件是工厂接口的装载端口门，并且所述第二部件是装载端口的框架，所述框架包含用于接收所述装载端口门的开口，其中所述装载端口门响应于抵靠所述密封部分施加的所述阈值密封力而移动至关闭位置，并且其中所述阈值密封力大体上平行于所述第一部件的所述边缘表面的平面施加。
5.如权利要求1所述的密封件，其中所述阈值密封力为大约50至210牛顿。
6.如权利要求1所述的密封件，其中所述保持部分被配置为响应于抵靠所述密封部分施加的所述阈值密封力而产生围绕所述密封件的轴线的力矩，其中所述基部部分被配置为使得在所述基部部分的表面上的反作用力引起所述基部部分被保持在所述凹槽中。
7.如权利要求1所述的密封件，其中由所述第一部件的所述边缘表面形成的所述凹槽的至少一部分是具有两个侧壁和底壁的燕尾槽，其中所述两个侧壁之间的最大宽度大于所述燕尾槽的深度，并且其中至少一个侧壁相对于所述底壁形成大约45至80度的角度。
8.一种装载端口门，包含：
9.如权利要求8所述的装载端口门，其中所述装载端口门的所述边缘表面被配置为相对于所述装载端口的所述框架的所述密封表面大体上垂直，并且其中所述装载端口门被配置为能够相对于所述装载端口的所述框架移动。
10.如权利要求8所述的装载端口门，其中所述密封件的至少所述密封部分包含柔性弹性体材料。
11.如权利要求8所述的装载端口门，其中所述阈值密封力为大约50至210牛顿，并且其中所述阈值密封力大体上平行于所述边缘表面的平面施加。
12.如权利要求8所述的装载端口门，其中所述密封件的所述保持部分被配置为响应于抵靠所述密封件的所述密封部分施加的所述阈值密封力而产生围绕所述密封件的轴线的力矩，其中所述密封件的所述基部部分被配置为...
【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯·C·汉森，道格拉斯·B·鲍姆加滕，保罗·路透，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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