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本发明提供一种冷却腔室，应用于半导体工艺设备。冷却腔室包括：腔体；冷却组件，包括用于冷却待冷却件的冷却部，冷却部可移动地设置于腔体中，且能够在避让位置和工作位置之间切换；其中，在工作位置，冷却部位于待冷却件的上方或下方；在避让位置，冷却部位...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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