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本发明提供了一种真空吸嘴、键合设备及方法。所述真空吸嘴，其特征在于，包括：本体，其内部设有一空腔，其中，所述空腔的一端连通真空机构，而其另一端对准一带孔的蒙皮，以构成一可形变的吸附部；以及伸缩部，位于所述空腔的内部，并经由其球面的一端挤压所...
该专利属于拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司授权不得商用。

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