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一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法，方法包括：提供基板，所述基板包括一个或多个光栅结构区域；提供至少两种靶源材料，设置于所述基板上方；提供控制组件，并将所述控制组件置于所述靶源材料和所述基板之间且贴合于所述基板的表面放置；通过调整...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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