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用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法技术

技术编号:44435497 阅读:25 留言:0更新日期:2025-02-28 18:45
一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法,方法包括:提供基板,所述基板包括一个或多个光栅结构区域;提供至少两种靶源材料,设置于所述基板上方;提供控制组件,并将所述控制组件置于所述靶源材料和所述基板之间且贴合于所述基板的表面放置;通过调整所述靶源材料相对于第一通孔和第二通孔的位置在所述光栅结构区域的任一区域上形成至少两层材料层,且每层材料层的厚度沿目标方向逐渐减小,所述目标方向为形成所述材料层所采用的第一通孔指向形成所述材料层所采用的第二通孔的方向。以实现多层光学渐变结构的厚度连续变化得到精确控制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体,尤其涉及一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法


技术介绍

1、衍射光波导作为增强现实
重要的光学元件之一,具有较大的眼动范围、小巧的体积以及良好的量产性。为了达到视场均匀、色彩均匀以及高效的光学传输效果,业界正不断努力改进衍射光波导的设计和制造工艺,特别是在制造过程中,如何高效地生产衍射光波导成为研究的热点。

2、同时,如何在确保衍射光波导的衍射效率的同时,优化这些结构的显示外观,仍然是一个需要持续解决的问题。


技术实现思路

1、本专利技术解决的技术问题是,提供一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法,解决了保证光学渐变结构衍射效率的同时优化光学渐变结构以实现高度连续变化的技术问题。

2、为解决上述技术问题,本专利技术实施例提供一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件,所述控制组件包括:具有预设间距的第一控制板和第二控制板;所述第一控制板包括至少两个第一通孔,所述第二控制板包括至少一个第二通孔,至少两个所述第一通孔和至少一个所述第二通孔的中心线不重本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,所述控制组件包括:

2.如权利要求1所述的用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,所述材料层用于形成衍射光波导的转折光栅和/或耦出光栅,所述转折光栅和/或所述耦出光栅的深度沿着光线传输的方向逐渐增加。

3.如权利要求1或2所述的一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,所述多层光学渐变结构中第a层材料层的厚度T(x,y,ta)的计算公式被限定为:

4.如权利要求3所述的用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,沿第二控制板表面的方向上所述第二通孔具有相对的第一侧和第二侧,至...

【技术特征摘要】

1.一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,所述控制组件包括:

2.如权利要求1所述的用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,所述材料层用于形成衍射光波导的转折光栅和/或耦出光栅,所述转折光栅和/或所述耦出光栅的深度沿着光线传输的方向逐渐增加。

3.如权利要求1或2所述的一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,所述多层光学渐变结构中第a层材料层的厚度t(x,y,ta)的计算公式被限定为:

4.如权利要求3所述的用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,沿第二控制板表面的方向上所述第二通孔具有相对的第一侧和第二侧,至少两个所述第一通孔分别位于所述第一侧和所述第二侧,基于所述第一侧的所述第一通孔和所述第二侧的所述第一通孔,分别形成厚度渐变趋势相反的两层材料层。

5.如权利要求4所述的用于制备多层光学渐变结构的控制组件,其特征在于,相邻两层材料层的折射率不同。

6.如权利要求2所述的用于制备多层光...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘海
申请(专利权)人:上海大学
类型:发明
国别省市:

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