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本发明提供一种门体驱动机构、工艺腔室及半导体工艺设备。门体驱动机构，包括：第一驱动装置、第二驱动装置和连接部，连接部与第一驱动装置驱动连接，第一驱动装置用于驱动连接部沿第一方向移动；在与第一方向相交的第二方向上，连接部相对第一驱动装置可移动...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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