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本发明提供一种晶圆挑拣机，包括框架机器人，所述框架机器人包括：若干运动部件以及配套的运动轨道，所述运动轨道外围设有防护板，防止所述运动部件移动时将所述运动轨道上的润滑油溅到下方的工作平台。本发明用于解决现有技术中框架机器人中的运动部件发生运...
该专利属于格科微电子（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格科微电子（浙江）有限公司授权不得商用。

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