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本发明公开了一种半导体器件及其制备方法,所述器件包括:半导体结构,其上方形成有第一金属层;第一隔离层,其覆盖第一金属层;MIM电容结构,包括:下极板、介质层和上极板,下极板覆盖部分第一隔离层,使第一隔离层表面形成暴露区,介质层覆盖下极板,上...该专利属于格科半导体(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科半导体(上海)有限公司授权不得商用。
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