下载一种NAK80模具钢表面近金字塔型微米结构及其光刻蚀方法的技术资料

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本发明公开了一种NAK80模具钢表面近金字塔型微米结构及其光刻蚀方法。该方法首先通过光刻技术在NAK80模具钢表面加工出光刻胶掩膜图案,然后通过调控湿法刻蚀液的成分和刻蚀时间,得到具有近金字塔型周期阵列微米结构的NAK80微模具。该微模具可...
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