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本发明提供一种可分级调节的气驱装置及应用其的烧结设备，该气驱装置包括基座、第一驱动组件、复位组件和推力杆组件。第一驱动组件包括嵌套设置的多个驱动活塞，复位组件包括与多个驱动活塞相对应的多组复位活塞，推力杆组件包括与多个驱动活塞相对应的多组推...
该专利属于苏州宝士曼半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州宝士曼半导体设备有限公司授权不得商用。

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