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本技术涉及基板处理装置。高效地抑制因在板设有缺口而引起的微粒的产生。一实施方式的基板处理装置具备：基板保持部，其具有位于基板的下方的位置的板和设于板的周缘部的多个基板把持构件，板在周缘部具有多个缺口部；旋转驱动部，其使基板保持部旋转；多个升...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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