温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种防止化学沉积的升降设备及半导体设备，升降设备包括底座，用于连接反应腔；升降机构设于所述底座，升降机构包括升降杆，升降杆的顶部可延伸至反应腔内，用于带动位于所述反应腔内的隔板升降；密封管，可沿其轴向调节长度，密封管套设于所述升...
该专利属于宸微设备科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宸微设备科技（苏州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。