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一种被配置成抑制(或至少减少)在期望区域之外的寄生等离子体的产生的寄生等离子体抑制器，例如抑制在等离子体增强处理系统的处理室中的基座附近的区域中的寄生等离子体产生。...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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