下载一种MOSFET器件及其制备方法的技术资料

文档序号:44332615

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本发明公开了一种MOSFET器件及制备方法,包括衬底、位于所述衬底上方的外延层、位于所述衬底下方的漏极电极、位于所述外延层中的电流扩展区、位于所述电流扩展区上方的阱区、位于所述阱区中的源区、位于所述源区中的体区,位于所述外延层两端的凹槽、位...
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