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本发明公开了一种基于高辐照稳定LiNbO<subgt;3</subgt;压电涂层的智能传感器及其应用，属于智能传感器及智能感知与控制设备技术领域。本发明在智能传感器的设计中，通过调节磁控溅射镀膜的参数，增加气氛中Ar的气含量，以...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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