一种基于高辐照稳定LiNbO3压电涂层的智能传感器及其应用制造技术

本发明专利技术公开了一种基于高辐照稳定LiNbO<subgt;3</subgt;压电涂层的智能传感器及其应用，属于智能传感器及智能感知与控制设备技术领域。本发明专利技术在智能传感器的设计中，通过调节磁控溅射镀膜的参数，增加气氛中Ar的气含量，以充分溅射靶材物质，并结合降低O<subgt;2</subgt;含量来削弱缺锂相LiNb<subgt;3</subgt;O<subgt;8</subgt;的形成。由此克服了靶材纯度对沉积的限制，在LiNb<subgt;3</subgt;O<subgt;8</subgt;物质占比颇高的缺Li铌酸锂靶材中亦能实现高辐照稳定LiNbO<subgt;3</subgt;压电涂层的制备，具有靶材适用面广、工艺简捷的优势，降低了该类压电涂层的生产门槛，为智能传感器的生产提供更多选择。奔放智能传感器的综合性能优异，在高辐照环境下具有良好的结构、功能稳定性；作为传感器在智能感知与控制设备等技术领域具有广阔的前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及智能传感器及智能感知与控制设备，尤其涉及一种基于高辐照稳定linbo3压电涂层的智能传感器及其应用。

技术介绍

1、在传感器技术、光通信、无线射频等领域中，linbo3压电涂层的压电常数高、机电耦合系数大，具备耐腐蚀、耐高温（使用温度达1110 ℃）等优良特性，可以同时解决沿海、高温环境螺栓用传感器的高温环境和高能量超声使用要求，因此得到广泛应用。

2、目前，在智能传感器领域，linbo3压电涂层的制备技术存在较大挑战，首先在溅射工艺上，li元素的低原子量给linbo3压电涂层的溅射生长带来了极大困难，部分li原子容易在气体混合物中散射而向沉积室的壁上扩散，造成沉积的涂层出现li缺乏现象。

3、为了解决这一技术问题，专利技术人在公开号为cn116855887a的中国专利技术专利中提供了一种铌酸锂传感器的声波信号优化方法、传感器及其应用。通过降低腔内气压，减少粒子数量，削弱各种粒子碰撞和li粒子逃逸几率；并降低o粒子含量，避免过量的氧气在溅射过程中易带走游离的li，总结出ar/o2流量比为3/1时，所制备的铌酸锂涂层具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种智能传感器，其特征在于，该智能传感器的压电材料采用高辐照稳定LiNbO3压电涂层；其中，高辐照稳定LiNbO3压电涂层的制备方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的智能传感器，其特征在于：所述步骤（1）中，铌酸锂靶材包括纯铌酸锂靶材、含有LiNb3O8的缺Li铌酸锂靶材。

3. 根据权利要求1所述的智能传感器，其特征在于：所述步骤（1）中，靶基距离为3.5-6.5 cm。

4. 根据权利要求1所述的智能传感器，其特征在于：所述步骤（2）中，磁控溅射镀膜的温度为100-250 ℃。

5. 根据权利要求1所述的智能传感器，其特征在于...

【技术特征摘要】

1.一种智能传感器，其特征在于，该智能传感器的压电材料采用高辐照稳定linbo3压电涂层；其中，高辐照稳定linbo3压电涂层的制备方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的智能传感器，其特征在于：所述步骤（1）中，铌酸锂靶材包括纯铌酸锂靶材、含有linb3o8的缺li铌酸锂靶材。

3. 根据权利要求1所述的智能传感器，其特征在于：所述步骤（1）中，靶基距离为3.5-6.5 cm。

4. 根据权利要求1所述的智能传感器，其特征在于：所述步骤（2）中，磁控溅射镀膜的温度为100-250 ℃。

【专利技术属性】
技术研发人员：曾晓梅，佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇，杨兵，拉希姆伯根·拉希莫夫，沙夫卡特·尤尔达舍夫，张俊，
申请(专利权)人：武汉大学，
类型：发明
国别省市：