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外延生长环承载治具制造技术
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下载外延生长环承载治具的技术资料
文档序号:44292855
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本技术公开了外延生长环承载治具,包括生长盘和生长环。生长盘包括底座和突出于底座的上表面的台阶部。生长环围设在生长盘的外周,生长环包括彼此连接的上密封部和下密封部。上密封部平行覆盖台阶部上表面的一部分并与台阶部上表面的一部分间隔设置形成容纳槽...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。
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