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本申请涉及一种装载检测装置及机台，包括：多个检测组件和至少一个锁止电路，锁止电路和多个检测组件连接，多个检测组件于装置本体的接触表面上间隔设置，在被载件与接触表面接触的情况下，与被载件的类型对应的检测组件输出锁定指示信息；锁止电路在接收到与...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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