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本技术涉及晶圆加工设备领域，尤其是晶圆温润槽。该温润槽包括槽体、喷淋块、喷淋块升降机构、接水槽、导向块，所述槽体内滑配连接有喷淋块，喷淋块与喷淋块升降机构相连，槽体底部设有接水槽，槽体开口处固定有两个相互对称的导向块。本技术将晶圆挂具放入槽...
该专利属于苏州尊恒半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州尊恒半导体科技有限公司授权不得商用。

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