下载一种半导体激光芯片的技术资料

文档序号:44204048

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本技术涉及半导体光电器件的技术领域,尤其涉及一种半导体激光芯片,从下至上依次包括衬底、下包覆层、下波导层、有源层、上波导层、电子阻挡层、上包覆层,通过光刻工艺,将上包覆层刻蚀至距离电子阻挡层约5~500nm,刻出激光的脊,再在脊上方制备接触...
该专利属于安徽格恩半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽格恩半导体有限公司授权不得商用。

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