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本发明公开了一种检测装置及检测调节方法,检测装置包括第一定位部件、第二定位部件、第三定位部件,第一定位部件包括第一基准杆、第二基准杆,第一基准杆上设有用以抵接OHB的第一基准面;第二基准杆沿第一方向滑动设置在第一基准杆上,其上设有用以抵接行...该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。
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