【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体传输，尤其涉及一种检测装置及检测调节方法。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，常采用天车实现装有晶圆的晶圆盒在不同工艺机台之间流转。当晶圆盒暂不需要流转时，可将晶圆盒暂存在位于行走轨道一侧的空中缓存器（ohb）中；当ohb上的晶圆盒需要流转时，再通过天车上的横移机构将其上的抓手机构移动至ohb处抓取晶圆盒即可。通常横移机构的横移距离是根据ohb与行走轨道之间的间距预先设定好的，在实际应用时，若ohb与行走轨道之间的间距出现偏差，则有可能导致天车无法准确取放ohb上的晶圆盒。
技术实现思路
1、为克服上述缺点，本专利技术的目的在于提供一种检测装置及检测调节方法，便于检测和调节ohb与行走轨道之间的间距，以避免因ohb与行走轨道之间的间距偏差导致的天车无法准确取放ohb上的晶圆盒。
2、根据本专利技术实施例的一种检测装置，包括
3、第一定位部件，所述第一定位部件包括第一基准杆、第二基准杆，所述第一基准杆上设有能沿第一方向抵接在ohb上的第一基准面；所...
【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，包括
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述活动标尺包括第一刻度尺、第二刻度尺，所述第一刻度尺、所述第二刻度尺分别固接在所述第一连杆、所述第二连杆上，且所述第一刻度尺、所述第二刻度尺沿第二方向上部分交叠并形成所述刻度标识。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一刻度尺远离所述第一连杆的一端开设有第一尺槽，所述第二刻度尺远离所述第二连杆的一端开设有第二尺槽，所述第一尺槽能与所述第二尺槽在第二方向上重合。
4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述活动标尺还包括插板，所述...
【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述活动标尺包括第一刻度尺、第二刻度尺，所述第一刻度尺、所述第二刻度尺分别固接在所述第一连杆、所述第二连杆上，且所述第一刻度尺、所述第二刻度尺沿第二方向上部分交叠并形成所述刻度标识。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述第一刻度尺远离所述第一连杆的一端开设有第一尺槽，所述第二刻度尺远离所述第二连杆的一端开设有第二尺槽，所述第一尺槽能与所述第二尺槽在第二方向上重合。
4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述活动标尺还包括插板，所述插板能插入至重合的所述第一尺槽、第二尺槽内。
5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一基准杆包括垂直布设的第一竖杆、第一横杆，所述第一横杆沿第一方向布设，其上设有...
【专利技术属性】
技术研发人员：李闯闯，周道，张庆，叶莹，
申请(专利权)人：上海果纳半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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