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本发明涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆清洗机械臂运动稳定性自适应调节系统及方法，方法包括：采集机械臂运动过程中的关节速度、振动加速度和末端受力数据，构建数据集；利用频谱分析和傅里叶变换对数据进行特征提取，构建稳定性评估策略，实时判断机械臂...
该专利属于思恩半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过思恩半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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