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本说明书实施例提供了一种激光加工碳基芯片的系统及方法，其中，系统包括：多波长激光发射模块，用于根据激光参数发射适用于不同晶体结构碳基芯片的激光束；智能控制装置，用于基于加工策略，根据碳基芯片的热学和光学特性动态调节激光参数，并将所述激光参数...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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