下载利用重复图像的FPD基板及半导体晶片检查系统的技术资料

文档序号:4413704

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本发明涉及利用重复图像的FPD基板及半导体晶片检查系统,更详细地说,涉及如下的利用重复图像的FPD基板及半导体晶片检查系统:针对埋在平板显示面板内或存在于表面、或者从表面突出的微粒,通过一次扫描获取重复的2张以上的图像,从而可通过检查一次即...
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