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本发明提供了一种薄膜真空规的温度控制系统，涉及真空气压测量设备技术领域，包括加热器、传感器和温度控制器；其中，加热器为圆柱状筒体结构，加热器内放置有薄膜真空规；温度控制器基于预设温度控制加热器在恒流模式下对薄膜真空规均匀加热；传感器设置在加...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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