薄膜真空规的温度控制系统技术方案

本发明专利技术提供了一种薄膜真空规的温度控制系统，涉及真空气压测量设备技术领域，包括加热器、传感器和温度控制器；其中，加热器为圆柱状筒体结构，加热器内放置有薄膜真空规；温度控制器基于预设温度控制加热器在恒流模式下对薄膜真空规均匀加热；传感器设置在加热器内，用于探测加热器内部的实时温度，并将实时温度反馈至温度控制器，以使温度控制器调整加热器的加热参数。本申请提供的温度控制系统为闭环控制系统，基于温度控制器的控制，使得系统始终维持在恒流模式下进行加热，电流电压波动小，温度始终保持恒定，对于体积较小的电容式薄膜真空规，也能实现电容的稳定采集，保证薄膜真空规的检测精度，具有较为广泛的适用范围。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空气压测量设备，特别涉及一种薄膜真空规的温度控制系统。

技术介绍

1、电容式薄膜真空规作为一种高精度、高灵敏度和高稳定性的侧量仪器，其测量精度易受环境温度影响，然而面对复杂的使用环境，温度的变化通常不易控制，或者维持温度的恒定需要付出很大的成本。

2、现有的恒温加热系统通常利用继电器控制热电偶的通断，进而与传感器配合，以温度反馈的方式实现温度的恒定，此类恒温加热系统电流波动较大，温度控制精度较低，且一般只应用于较大体积的电容式薄膜真空规的温度控制。然而，当电容式薄膜真空规的体积较小时，在测量气压时电容变化量较小，需要几十倍的电压放大才能实现有效的信息采集，采用传统的恒温加热系统进行加热，其电流、电压波动大，会影响电容采集的稳定性，从而影响薄膜真空规的检测精度。

技术实现思路

1、针对上述现有技术存在的不足之处，本专利技术提供了一种薄膜真空规的温度控制系统，解决了现有技术中使用的恒温加热系统电流电压波动大，温度控制精度低，影响薄膜真空规的检测精度的技术问题。>

2、本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，包括加热器(1)、传感器(2)和温度控制器；

2.根据权利要求1所述的薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，所述薄膜真空规的温度控制系统还包括保险装置(3)；

3.根据权利要求2所述的薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，所述保险装置(3)内设置有保险丝，所述保险丝与所述控制电路板电连接；

4.根据权利要求1中任一项所述的薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制器内设置有PID控制系统；

5.根据权利要求1所述的薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，所述控制电路板连接有接线装置(4)，...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，包括加热器(1)、传感器(2)和温度控制器；

2.根据权利要求1所述的薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，所述薄膜真空规的温度控制系统还包括保险装置(3)；

3.根据权利要求2所述的薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，所述保险装置(3)内设置有保险丝，所述保险丝与所述控制电路板电连接；

4.根据权利要求1中任一项所述的薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制器内设置有pid控制系统；

5.根据权利要求1所述的薄膜真空规的温度控制系统，其特征在于，所述控制电路板连接有接线装置(4)，所述接线装置(4)设置在所述加热器(1)侧壁的上沿，所述温度控制器通过所述接线装置(4)与所述控制电路板电连接。

6.根据权利要求1所述的薄膜真空规的温度控制系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙小孟，张心强，郜晨希，徐亚辉，苏涛，张沙，林琳，郑旭，闫明，刘瑞琪，李超波，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
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