下载半导体器件及其形成方法的技术资料

文档序号:44009715

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器件包括:衬底,具有半导体鳍;半导体沟道堆叠件,位于衬底上并且定位在鳍上方;栅极结构,包裹半导体沟道;源极/漏极,邻接半导体沟道;内部间隔件,定位在半导体沟道堆叠件和鳍之间;未掺杂半导体层,垂直邻近源极/漏极并且横向邻近鳍;以及隔离结构,隔...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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