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光罩护膜组件、光罩组件、光罩盒和光罩护膜测量方法技术
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文档序号:44006901
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本公开提供了光罩护膜组件、光罩组件、光罩盒和光罩护膜测量方法。一种光罩护膜组件可以包括:光罩护膜框架,配置为提供第一开口;光罩护膜,在光罩护膜框架上;以及多个光罩护膜电极,沿着光罩护膜的边缘布置并彼此间隔开。光罩护膜可以包括具有四边形或矩形...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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