下载半导体结构、存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:43989025

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本公开涉及一种半导体结构、存储器及其制备方法,包括有源柱、两个沟道层、两个栅极及两个绝缘层,两个沟道层分别位于有源柱的沿第一方向相对的两表面,沟道层包括沿第一方向背离有源柱的第一表面及沿第二方向相对的第二表面及第三表面,第一方向与第二方向相...
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