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本发明提出了一种用于投影光刻机同轴模糊图像的标记对准方法，属于光刻领域，首先对采集到的图像进行预处理，包括对比度增强和边缘特征的强化，以提高图像中的关键特征可见性。随后，通过频域分析和高斯滤波器，对图像中的噪声和背景干扰进行抑制，突出目标区...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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