下载一种Micro-LED微显示阵列及其制备方法的技术资料

文档序号:43984010

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本发明公开了一种Micro‑LED微显示阵列及其制备方法,涉及半导体技术领域,包括:第一应力释放组层,第一应力释放组层包括依次层叠的第一Ti层(厚度为A<subgt;1</subgt;)、第一Pt层(厚度为B<subgt;...
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