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本发明公开了一种干燥装置，包括上腔体、下腔体、基板托盘和旋转机构，上腔体具有第一锁紧部；下腔体设置于上腔体的下方，下腔体具有用于与第一锁紧部相适配的第二锁紧部；基板托盘设置于下腔体，用于承载基板；旋转机构用于带动上腔体和下腔体至少其中之一旋...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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