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本发明提供一种柔性供应结构，用于将第一可移动物体与第二物体连接，其中柔性供应结构包括具有第一磁场取向的第一永磁体，其中柔性供应结构被布置为至少部分地由支撑件支撑，该支撑件包括具有第二磁场取向的第二磁体，使得当第一永磁体和第二磁体彼此面对时，...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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