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GaN基激光芯片及其制备方法技术
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文档序号:43963246
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本公开提供了一种GaN基激光芯片及其制备方法,该GaN基激光芯片至下而上依次包括:n型电极(20)、衬底(10)、n型限制层(12)、下波导层(13)、有源层(14)、上波导层(15)、上限制层和p型电极(19);其中,上限制层至下而上依次...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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