下载具有自对准字线接触通孔结构的三维存储器器件及其制造方法的技术资料

文档序号:43960861

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一种三维存储器器件包括绝缘层和导电层的交替堆叠,其在接触区中具有阶梯式表面;存储器开口,其竖直延伸穿过该交替堆叠;存储器开口填充结构,其位于该存储器开口中;至少一个后向阶梯式介电材料部分,其覆盖在该交替堆叠上;鳍状介电柱结构,其竖直延伸穿过...
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