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提供化学机械抛光装置以及用于化学机械抛光装置的固定环。化学机械抛光装置包括抛光垫；抛光头，配置以接收晶圆并将晶圆保持在抛光垫上；及固定环，配置以与抛光头接合，其中固定环形成有多个通道，通道配置以使浆料沿流动方向从固定环的外部流至固定环的内部...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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