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本申请公开了一种基于AOI多光谱成像的产品内部结构缺陷检测方法及系统，方法包括将检测装置放置于待检测产品的预测位置，通过多光谱成像模块获取待检测产品的初始多光谱图像，并获取对应的可移动探头的起始位置；控制可移动探头沿预设路径移动，实时采集可...
该专利属于崇辉半导体（江门）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过崇辉半导体（江门）有限公司授权不得商用。

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