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公开了涉及虚拟半导体厂环境的示例。一示例提供监控方法，其监控在处理工具中衬底上执行的工艺。方法包括在处理工具中运行工艺时从处理工具的传感器获得运行时间数据。方法还包括使用运行时间数据和工艺配方，通过模拟数字孪生来执行运行时间模拟。方法还包括...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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