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本技术涉及气体检测技术领域,公开了一种用于半导体气体泄露检测装置,包括检漏仪本体,直管的外表面活动连接有连接管,连接管的内部固定安装有连接环,连接环的底部固定安装有两个套板,连接管的顶端固定安装有软管,直管的顶部开设有两个斜槽,直管的顶部固...该专利属于宏图(苏州工业园区)半导体技术服务有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宏图(苏州工业园区)半导体技术服务有限公司授权不得商用。