一种用于半导体气体泄露检测装置制造方法及图纸

本技术涉及气体检测技术领域，公开了一种用于半导体气体泄露检测装置，包括检漏仪本体，直管的外表面活动连接有连接管，连接管的内部固定安装有连接环，连接环的底部固定安装有两个套板，连接管的顶端固定安装有软管，直管的顶部开设有两个斜槽，直管的顶部固定安装有两个弧形块，本技术通过在直管顶端开设的斜槽，然后转动软管带动套板进行转动，由于转动组件的限位作用，为此楔块和固定板从斜槽移动弧形板表面的凹槽内部，弹簧在移动时被挤压，当楔块到达凹槽后，弹簧复位，即可把楔块卡合在凹槽内部，再次进行转动可以拆卸，为此能够进行软管快速的拆卸，在设备进行更换时也更加的快速，增加了工作的效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体检测，特别涉及一种用于半导体气体泄露检测装置。

技术介绍

1、一种用于半导体气体泄露检测装置主要用于检测半导体制造过程中使用的各种气体的泄漏情况，这些气体在半导体制造过程中起着关键作用，但如果泄漏，可能会对工人的健康和安全造成威胁，并对环境造成污染，因此，准确地检测和监控这些气体的泄漏非常重要。

2、现有的半导体气体测漏仪通过使用软管进行连接，由于软管需要长时间使用，并且需要不停的进行更换，现有的半导体气体测漏仪软管大多和仪体位一体式连接，难以进行更换的拆卸，软管不容易拆卸，那么在需要更换传感器、维修设备或进行日常维护时，会增加难度和耗时，这可能导致设备停机时间延长，影响生产效率。

技术实现思路

1、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于半导体气体泄露检测装置，通过楔块在斜槽和凹槽的设置，能够把软管进行快速的拆卸和卡合，解决了
技术介绍
中提到的问题。

2、为了解决上述问题，本技术提供了一种技术方案：

3、一种用于半导体气体泄露检测装置，包括检漏仪本体，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体气体泄露检测装置，包括检漏仪本体(1)，其特征在于，所述检漏仪本体(1)的顶部固定安装有直管(5)，所述直管(5)的外表面设置有转动组件(8)，所述直管(5)的外表面活动连接有连接管(2)，所述连接管(2)的内部固定安装有连接环(11)，所述连接环(11)的底部固定安装有两个套板(14)，所述连接管(2)的顶端固定安装有软管(3)，所述软管(3)的外表面设置有限位组件(13)，所述限位组件(13)的表面设置有连接头(4)，所述直管(5)的顶部开设有两个斜槽(10)，所述直管(5)的顶部固定安装有两个弧形块(12)；

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体气体...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体气体泄露检测装置，包括检漏仪本体(1)，其特征在于，所述检漏仪本体(1)的顶部固定安装有直管(5)，所述直管(5)的外表面设置有转动组件(8)，所述直管(5)的外表面活动连接有连接管(2)，所述连接管(2)的内部固定安装有连接环(11)，所述连接环(11)的底部固定安装有两个套板(14)，所述连接管(2)的顶端固定安装有软管(3)，所述软管(3)的外表面设置有限位组件(13)，所述限位组件(13)的表面设置有连接头(4)，所述直管(5)的顶部开设有两个斜槽(10)，所述直管(5)的顶部固定安装有两个弧形块(12)；

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体气体泄露检测装置，其特征在于，所述转动组件(8)包括两个固定环(84)，两个所述固定环(84)的内部固定安装于直管(5)的外表面，两个所述固定环(84)的底部均开设有滑槽(83)。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体气体泄露检测装置，其特征在于，所述连接管(2)的底端固定安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志远，陈鹏，陈云龙，
申请(专利权)人：宏图苏州工业园区半导体技术服务有限公司，
类型：新型
国别省市：