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本发明涉及一种外延炉腔体的金属含量控制方法，包括以下阶段：清洁阶段，去除腔体内残留物质；先在腔体内通入气体去除灰尘和杂质残留，然后加热元件用于去除基底表面的有机物和水分，完成上述步骤后保持腔体内温度和压力稳定，最后在刻蚀步骤中去除基底表面的...
该专利属于浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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