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本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种用于晶圆的AuGe12合金金属蒸镀方法，方法包括：对预准备的衬套进行高温清洁，于衬套内加入第一质量的AuGe12合金材料；对AuGe12合金材料进行初次预融；于衬套内加入第二质量的AuGe12合金材料，以...
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