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场效应晶体管制造技术
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文档序号:43922182
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在设置电流扩散n层的情况下抑制栅极绝缘膜的绝缘击穿。一种场效应晶体管,具有在上表面具有沟槽的半导体衬底、栅极绝缘膜和栅极电极。上述半导体衬底具有p型的体层和配置在上述体层的下侧的下部n层。上述下部n层具有:电流扩散n层,对于上述体层从下侧相...
该专利属于株式会社电装所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社电装授权不得商用。
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