下载低电阻过孔结构的技术资料

文档序号:43918580

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讨论了形成低电阻过孔的技术。在示例中,给定行的半导体器件各自包括在第一方向上在对应的源极区域或漏极区域之间延伸的半导体区域,以及在第二方向上在半导体区域上方延伸的栅极结构。任何半导体器件可以由电介质结构沿着第二方向与相邻的半导体器件分离,过...
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