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一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备制造方法及图纸
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文档序号:43914599
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在本说明书提供的一种晶圆检测方法、装置、存储介质及设备中,获取待检测晶圆的各晶粒图像中,并从中选取一张基准图像,将其他晶粒图像作为测试图像,通过不断同比例缩小基准图像与测试图像,得到基准图像和测试图像分别对应的图像金字塔,通过图像金字塔之间...
该专利属于匠岭科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过匠岭科技(上海)有限公司授权不得商用。
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