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评价方法、搜索方法以及搜索系统技术方案
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文档序号:43914145
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本发明提供评价方法、搜索方法以及搜索系统。目的在于,提供用于评价截面图像中出现的形状的技术。代表性的本发明的评价方法之一评价目标形状与电子显微镜图像的截面形状之差,评价方法的特征在于,具有:第一步骤,测定所述截面形状的特征性的尺寸;第二步骤...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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